2003年
7月 離子源系統獲得了丹東市高新技術產品
12月 順利的通過ISO9001：2000質量管理體系認證
2004年
2月 離子源系列產品獲得了高新技術產品證書
7月 NV6200離子源系統被立項為科技型中小企業技術創新基金的重點項目
10月 被授為丹東市民營科技企業
2005年
3月 離子源系列產品入選中國500最佳新產品
4月 離子源系列產品通過了遼寧省新產品鑒定
5月 NV6200離子源系統獲得國家火炬計劃項目證書
5月 離子源系統通過了遼寧省科技成果鑒定
8月 獲得省創信資金的扶持
10月 被評為丹東市高新技術企業
2006年
1月 GSD系列產品獲得丹東市高新技術產品稱號
4月 離子源系列產品列為國家重點新產品
4月 NV6200離子源系統獲得丹東市科學技術進步二等獎
9月 9500系列產品獲得丹東市高新技術產品稱號
12月 獲得遼寧省科學技術進步三等獎
12月 NV-6200離子源系統創信基金項目通過國家驗收
2007年
1月 獲得丹東市優秀民營高新技術企業
4月 順利通過ISO9001：2000質量管理體系認證
7月 被評為遼寧省高新技術企業
7月 NV-6200 離子源系統獲遼寧省科技成果轉化項目認定
12月 GSD系列產品被評為遼寧省優秀新產品
2008年
7月 獲遼寧省中小企業廳專精特新產品金獎
11月 GSD離子源產業化項目獲科技部國家火炬計劃項目立項
2010年
9月 微波等離子體離子源系統獲遼寧省科技型中小企業技術創新資金立項
2014年
1月 通過ISO9001:2008質量管理體系認證
2015年
1月 成為中國半導體行業協會會員
